蘇大維格300331：光刻機龍頭股，
從蘇大維格近三年凈利率來看，近三年凈利率均值為-13.83%，過去三年凈利率最低為2021年的-20.77%，最高為2023年的-3.42%。
公司光刻設備主要為紫外光刻直寫設備，公司光刻機從設計、組裝以及所用軟件的開發，均由本公司自主完成，主要用于柔性電子、MEMS以及半導體上游器件等產品的研發與制造。其在滿足自身需求的基礎上，同時也已逐步面向國內外高校和研究所銷售；2018年，公司精密光刻設備分別交付安徽大學、湖南大學、中科院病毒所等知名高校與研究所，進一步加大了公司在激光微納加工領域的影響力。
蘇大維格在近30日股價下跌0.44%，最高價為23.18元，最低價為20.29元。當前市值為52.53億元，2025年股價下跌-6.92%。
京華激光603607：光刻機龍頭股，
從近三年ROE來看，近三年ROE均值為11.23%，過去三年ROE最低為2023年的9.26%，最高為2022年的12.54%。
回顧近30個交易日，京華激光股價上漲3.35%，總市值上漲了1.2億，當前市值為32.01億元。2025年股價上漲9.2%。
大族激光002008：光刻機龍頭股，
從近五年凈利率來看，大族激光近五年凈利率均值為8.51%，過去五年凈利率最低為2019年的6.44%，最高為2021年的12.74%。
近30日股價上漲3.86%，2025年股價上漲10.65%。
光刻機概念股其他的還有：
安泰科技000969：近3日股價下跌3.26%，2025年股價上漲13.36%。公司并不直接涉及光刻機領域，但公司相關產品可用于國外某型號光刻機設備。
聯合精密001268：近3日股價下跌1.64%，2025年股價上漲18.11%。公司在建工程中包括光刻機零部件鑄件項目。
紅寶麗002165：回顧近3個交易日，紅寶麗有1天下跌，期間整體下跌9.69%，最高價為5.91元，最低價為7.35元，總市值下跌了4.34億元，下跌了9.69%。公司的主要產品是異丙醇胺，該產品可以應用于光刻膠清洗。
智光電氣002169：智光電氣在近3個交易日中有3天下跌，期間整體下跌3.61%，最高價為6.13元，最低價為5.98元。2025年股價下跌-5.85%。公司通過廣州譽芯眾誠股權投資合伙企業（有限合伙）（持股比例30%）間接參股廣州粵芯半導體技術有限公司80%股權，是粵芯的控股股東，粵芯項目是譽芯眾誠的主要投資項目。粵芯半導體一期以90nm-180nm技術產品為主，二期以65nm-90nm技術產品為主。公司于2019年5月在互動平臺透露，粵芯半導體采購的是荷蘭ASML的光刻機，光刻機等主要設備已于2019年3月中旬搬進粵芯半導體主廠房。
普利特002324：普利特（002324）3日內股價3天下跌，下跌3.64%，最新報9.61元，2025年來上漲0.83%。持股25%理碩科技股權，截至20年8月，標的目前正處于產品研發階段，主要方向是KrF和ArF、TFT、PSPI等光刻膠產品的企業；公司控股子公司上海普利特半導體材料投資了江蘇影速集成電路裝備1.27%的股權，該公司主要生產激光直寫的光刻機設備，主要應用在PCB、FPC、HDI和集成電路掩膜板。
北方華創002371：北方華創在近3個交易日中有1天下跌，期間整體下跌3.46%，最高價為435.54元，最低價為424.2元。2025年股價上漲6.01%。芯片產業鏈賣鏟人，半導體設備國內第一，能夠提供除光刻機以外的所有設備，國內唯一一家具有8英寸立式擴散爐和清洗設備生產能力的公司，自主研發14nm等離子硅刻蝕機。前身是七星電子。除了半導體設備，也包括真空設備業務（光伏）、電子元器件業務。
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