光刻工程有哪些上市公司？
泰晶科技（603738）：
回顧近30個交易日，泰晶科技上漲8.56%，最高價為18.15元，總成交量5.72億手。
泰晶科技用于光刻工程的高精度配套設(shè)備取得新突破。
3月20日午后消息，泰晶科技5日內(nèi)股價上漲4.54%，截至13時21分，該股報17.290元，漲0.7%，總市值為67.31億元。
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