據南方財富網概念查詢工具數據顯示，相關光刻氣產品概念股有：
1、華特氣體：
近5日股價上漲1.2%，2025年股價上漲9.94%。
2025年第一季度公司實現營業總收入3.38億元，同比增長1.57%；實現扣非凈利潤4127.81萬元，同比增長-5.41%；華特氣體毛利潤為1.14億，毛利率33.7%。
公司的光刻氣產品包括A/F/Ne、G/e、 Ar/Ne和K/任F/Ne混合氣等，4種光刻氣均為國內唯一供應商﹐通過全球最大的光刻機公司ASML產品認證。
2、凱美特氣：
近5個交易日股價上漲2.16%，最高價為13.7元，總市值上漲了1.74億。
凱美特氣2025年第一季度季報顯示，公司實現營業總收入1.63億元，同比增長13.79%；實現扣非凈利潤2860.22萬元，同比增長276.5%；凱美特氣毛利潤為5918.39萬，毛利率36.38%。
控股子公司凱美特電子特種稀有氣體有限公司光刻氣產品獲得ASML子公司Cymer公司合格供應商認證。
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