據南方財富網概念查詢工具數據顯示，2025年光刻機龍頭股上市公司有：
海立股份600619：光刻機龍頭。
6月3日消息，海立股份6月3日主力凈流出528.51萬元，超大單凈流出375.63萬元，大單凈流出152.88萬元，散戶凈流入1489.89萬元。
6月4日開盤消息，海立股份今年來漲幅下跌-9.12%，最新報11.210元，成交額237.13萬元。
藍英裝備300293：光刻機龍頭。
6月3日消息，藍英裝備6月3日主力資金凈流出1191.27萬元，超大單資金凈流入62.62萬元，大單資金凈流出1253.89萬元，散戶資金凈流入1700.78萬元。
藍英裝備（300293）10日內股價下跌7.19%，最新報20.610元/股，漲0.05%，今年來漲幅下跌-10.4%。
福晶科技002222：光刻機龍頭。
2025-06-03該股主力凈入-20524200元，其中資金流入方面：超大單凈入11777700元，大單凈入42258900元，中單凈入64358100元，散戶凈入79459000元；資金流出方面：超大單凈出13188300元，大單凈出61372400元，中單凈出71251400元，散戶凈出52041500元。
6月4日，福晶科技開盤報31.76元，截至09時48分，報31.860元，成交額167.81萬元，換手率0.01%，市值為149.82億元。
三安光電600703：光刻機龍頭。
6月3日消息，三安光電資金凈流出4146.1萬元，超大單資金凈流出1853.54萬元，換手率0.01%，成交金額383.15萬元。
6月4日消息，三安光電截至09時48分，該股報12.150元，漲0.25%，3日內股價下跌4.12%，總市值為606.17億元。
光刻機概念股其他的還有：
東材科技：6月4日消息，東材科技3日內股價下跌0.22%，最新報9.180元，漲2.41%，成交額139.75萬元。
萬業企業：6月4日開盤消息，萬業企業5日內股價下跌1.02%，今年來漲幅下跌-6.1%，最新報13.820元，成交額293.76萬元。
電科數字：6月4日開盤消息，電科數字3日內股價下跌0.64%，最新報23.360元，成交額223.36萬元。
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