據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機概念龍頭股票有：
藍英裝備：龍頭股，5月29日消息，藍英裝備5日內股價上漲0.84%，最新報21.920元，成交量591.71萬手，總市值為74.19億元。
凈利-2175.89萬、同比增長-3.71%，截至2025年05月14日市值為73.88億。
全球領先的清洗系統和表面處理設備提供商，為ZEISS提供精密清洗設備，為ASML提供精密清洗解決方案。
藍英裝備（300293）3日內股價1天下跌，下跌2.76%，最新報22元，2025年來下跌-6.47%。
蘇大維格：龍頭股，5月29日消息，蘇大維格5日內股價上漲2.04%，今年來漲幅下跌-2.71%，最新報21.210元，市盈率為-96.41。
凈利-4568.79萬、同比增長83.63%，截至2024年11月11日市值為70.29億。
國內領先的微納光學制造商，向SMEE提供定位光柵部件，光柵尺周期精度小于1nm，納米壓印技術國內領先。
蘇大維格近3日股價有1天下跌，下跌0.43%，2025年股價下跌-2.71%，市值為55.07億元。
國產光刻機概念股其他的還有：
華懋科技：5月29日消息，華懋科技13時19分報41.650元。
彤程新材：5月29日消息，彤程新材3日內股價上漲3.08%，最新報33.450元，成交額2.05億元。
清溢光電：5月29日13時19分截止，清溢光電(股票代碼:688138)的股價報25.580元，較上一個交易日漲1.71%。當日換手率為0.43%，成交量達到113.93萬手，成交額總計為2899.96萬元。
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