據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻機概念龍頭有：
飛凱材料300398：
龍頭，飛凱材料2024年營收29.18億，同比去年增長6.92%；毛利率35.06%。
公司光刻膠產品主要應用于LED和TFT-LCD、PCB制造、屏幕顯示制造領域，并已布局應用于半導體制造領域以及OLED材料領域的光刻膠產品；截至20年9月，公司半導體光刻膠還處于送樣檢測階段。
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近7個交易日，飛凱材料上漲4.5%，最高價為18.76元，總市值上漲了5.05億元，上漲了4.5%。
藍英裝備300293：
龍頭，2024年藍英裝備實現營業收入13.62億元，同比增長-5.51%。
公司在物料搬運（輸送、移栽、分揀、堆碼垛、立體化倉庫等）中廣泛采用機器人技術和自動化技術、自主開發立體庫控制和管理軟件以及物流自動化系統管理軟件，有移動機器人、SCARA機器人等機器人產品。
近7個交易日，藍英裝備上漲11.29%，最高價為23.8元，總市值上漲了10.32億元，上漲了11.29%。
蘇大維格300331：
龍頭，蘇大維格2024年營業收入18.41億，同比增長6.85%。
回顧近7個交易日，蘇大維格有3天上漲。期間整體上漲3.38%，最高價為20.99元，最低價為21.98元，總成交量5121.39萬手。
芯源微688037：
龍頭，2024年公司總營收17.54億，同比增長2.13%；凈利潤2.03億，同比增長-19.08%；銷售毛利率37.67%。
在近7個交易日中，芯源微有6天上漲，期間整體上漲12.93%，最高價為119.42元，最低價為103.51元。和7個交易日前相比，芯源微的市值上漲了30.98億元。
安泰科技：7月25日安泰科技3日內股價上漲1.57%，截至15時收盤，該股報14.050元跌1.75%，成交5.36億元，換手率3.67%。公司并不直接涉及光刻機領域，但公司相關產品可用于國外某型號光刻機設備。
中旗新材：截止7月25日下午3點收盤中旗新材（001212）跌2.77%，報43.560元/股，3日內股價下跌2.59%，換手率8.1%，成交額5.59億元。2025年6月3日投資者關系活動記錄表顯示，公司的產品主要定位于未來的先進封裝技術，包括2.5D、3D封裝，以及面向人工智能應用的芯片制造所需的特殊設備的設計、開發與制造。目前，星空科技已初步形成了光刻機系列、納米壓印系列、芯片鍵合系列、硅片鍵合系列以及光學檢測系列等多個產品體系。
聯合精密：7月25日，聯合精密(001268)下午三點收盤報27.710元，當日最低達27.5元，成交額5435.42萬元，5日內股價下跌2.27%。公司在建工程中包括光刻機零部件鑄件項目。
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