據南方財富網概念查詢工具數據顯示，半導體設備概念龍頭上市公司有：
至純科技603690：龍頭。近3日至純科技股價上漲0.68%，總市值下跌了1.34億元，當前市值為96.49億元。2025年股價上漲0.16%。
公司在扣非凈利潤方面，從2021年到2024年，分別為1.62億元、2.85億元、1.02億元、-5740.7萬元。
中國半導體清洗設備龍頭企業，是國內能提供到28納米節點全部濕法工藝的本土供應商；今年1-2月營收增速超300%。
耐科裝備688419：龍頭。近3日耐科裝備上漲2.11%，現報28.37元，2025年股價下跌-9.55%，總市值32.5億元。
在扣非凈利潤方面，耐科裝備從2021年到2024年，分別為4506.75萬元、5000.59萬元、3728.17萬元、5068.24萬元。
半導體設備概念股其他的還有：
四川雙馬000935：近7日四川雙馬股價下跌2.43%，2025年股價上漲25.09%，最高價為20.5元，市值為147.57億元。
公司2021年半年報披露，公司股權投資基金管理公司目前在管基金規模近180億元，主要利用市場化的股權投資管理運營模式，發現、投資、培育和賦能優質資產。基金管理公司管理的河南省和諧錦豫產業投資基金（有限合伙）的投資方向包括但不限于互聯網、泛文化、先進制造、跨境電商物流等；義烏和諧錦弘股權投資合伙企業（有限合伙）的投資方向重點關注先進制造與新能源行業，包括LED太陽能、芯片設計制造、消費電子、智能裝備、工業自動化、新能源汽車、無人駕駛、半導體設備等。
安泰科技000969：近7個交易日，安泰科技下跌4.85%，最高價為14.02元，總市值下跌了6.83億元，2025年來上漲16.79%。
公司自主研發和生產的半導體離子注入高能離子源核心部件、LED半導體材料制備核心部件、制作芯片裝備的難熔金屬關鍵材料等高端半導體設備核心材料和部件都實現了國內率先開發、部分或全部替代進口的先例。
大族激光002008：近7個交易日，大族激光上漲0.19%，最高價為26.25元，總市值上漲了5148.02萬元，2025年來上漲5.55%。
全球領先的智能制造裝備整體解決方案提供商；公司半導體設備主要產品為激光表切、全切設備，激光內部改質切割設備以及刀輪切割設備等前道晶圓切割設備；焊線設備、固晶設備、測試編帶設備等后道封測設備以及晶圓自動化傳輸設備，用于半導體及LED、顯示面板等泛半導體的生產加工環節。
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